進入3月以來，沈陽集成電路裝備產業大動作頻頻，一批重大項目接連開工、竣工，引來業界密切關注。記者從沈陽市發展改革委了解到，緊盯延鏈補鏈強鏈重要節點，緊扣謀劃儲備、簽約落地、開工建設、竣工投產重要環節，今年沈陽市將統籌推進集成電路裝備領域重點項目74個，為產業高質量發展夯實項目根基。
半導體石英零部件在集成電路裝備產業中扮演著至關重要的角色?。隨著集成電路制造工藝不斷進步，對高純度石英零部件的需求持續增長。3月25日，全球知名科技公司賀利氏集團在中國規模最大的半導體項目——賀利氏石英沈陽新工廠竣工投產。新工廠主要生產半導體用高純、超高純合成石英系列產品，并設立創新中心，滿足客戶對于高端產品的最新需求。
“投資沈陽是我們的關鍵布局，未來將繼續為這一項目增資。”賀利氏集團董事會成員兼首席運營官弗蘭克·施蒂茨表示，以新工廠竣工為起點，賀利氏將持續聚焦半導體器件、集成電路產業化，打造先進制造基地和創新高地，帶動包括半導體研發、產業化，以及配套的原輔材料、耗材在內的全生態半導體產業園區發展。
對于沈陽乃至遼寧集成電路裝備產業發展來說，新工廠的全新啟航無疑是重要利好，對于擴大產業規模、提升產業鏈韌性意義深遠。沈陽市發展改革委相關負責人介紹，經過持續多年的謀篇布局，沈陽已建立起以整機和零部件為特色的集成電路裝備產業集群，并獲得了一批重大標志性成果。拓荊科技、芯源微電子、富創精密、沈陽科儀、和研科技、新松半導體等龍頭企業不斷成長。去年，沈陽集成電路產業產值增長45%以上。
立足全市集成電路產業“一主兩翼”的整體布局，沈陽市發展改革委全力以赴實施延鏈補鏈強鏈工程，以項目建設為支撐，加快推動產業發展邁向更高層次。渾南“北方芯谷”作為核心片區，重點聚焦薄膜沉積等裝備及真空機械手等零部件產業；沈北產業片區重點在后道劃磨設備、MCU（微處理器）設計及零部件等領域形成特色優勢；鐵西產業片區集聚漢科、賀利氏等國際知名企業，已成為國內重要的半導體石英零部件產業片區。以龍頭企業為牽引、釋放核心產品優勢，沈陽著力吸引北京、深圳、蘇州、昆山等地重點企業、配套項目入駐，目前已有74個重點項目納入全年推進計劃，預計總投資382億元。
就在本月初，總投資10億元的沈陽芯源微高端晶圓處理設備產業化創新路項目開工建設。該項目主要研發、生產前后道涂膠顯影設備，建成后將有力助推國產光刻工序涂膠顯影設備提升市場占有率。
3月17日，總投資20億元的拓荊科技高端半導體設備產業化基地項目鏟土開建。拓荊科技股份有限公司董事長呂光泉表示：“我們感受到遼寧對戰略性新興產業的重視，因此下定決心在沈陽擴大投資。基地建成后，產能可提升4倍，可更好地滿足國內集成電路企業對高端薄膜裝備的需求。”
（遼寧日報記者 金曉玲）
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